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苏州宏策成立于2015年8月,先后获评国家级高新技术企业、江苏省双创人才计划、姑苏人才计划、江苏省专精特新企业、江苏省民营科技企业等荣誉。

长期专注于精密光学纳米薄膜器件及PVD镀膜设备正向研发和生产,波段范围覆盖红外、可见光、深紫外DUV、真空紫外VUV、极紫外EUV、X光及中子光学,提供光学薄膜一站式解决方案。特别是在极紫外、X光与中子光学等短波光学薄膜领域研究,攻克纳米结构薄膜器件与设备研制的关键核心技术,实现国产化。

我司拥有自主研制直线式磁控溅射镀膜设备9套,离子束溅射镀膜设备6套,电子束蒸发设备16套,XRD、激光干涉仪等检测设备30余套。拥有知识产权40余项,其中发明专利37项。

自主研发(DUV、EUV)光刻用薄膜器件,实现设计、材料、制备、检测全流程自主可控,解决了卡脖子难题,如13.5nm[Mo/Si]多层膜反射率69.3%,达到国际先进水平;围绕国家EUV光刻机研制需求,成功镀制出一系列椭球镜、收集镜、掩膜版等关键核心薄膜器件;193nm、248nm、266nm等特殊波段薄膜器件实现国产替代;1064nm超低损耗、高损伤阈值激光薄膜,最高反射率达到99.99%;研制MLL多层膜波带片膜层数高达5000层,实现14KeV X光17nm聚焦,国际同行相当,应用于高能同步辐射光源项目;开发X光检测多层膜色散晶体,实现Na、Mg、B、C、F、N、P、S等元素的无损检测,替代进口;开发出多道、微区、偏振等新型薄膜器件,研制KB、Montel、Wolter、Schwarzschild(施瓦茨)等光学组件,应用在多个国家重大科学平台。

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