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光学薄膜
[高分辨光路测试]
高分辨光路测试
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<p><span style="font-size: 14px;">X射线衍射技术（X-Ray Diffraction, XRD）是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向，计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息；通过调整光路系统，还可实现XRR测试，得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息，及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。</span>......</p>
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