X射线衍射技术（X-Ray Diffraction, XRD）是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向，计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息；通过调整光路系统，还可实现XRR测试，得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息，及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
Parallel Mirror平行光镜模块与平板准直器搭配可将光路调整为标准的平行光路，薄膜样品采用掠入射扫描能够规避强衬底信号对图像带来的干扰，只得到薄膜的物相信息。
多晶ITO薄膜的掠入射扫描（15°-80°，掠入射角1°）
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