X射线衍射技术(X-Ray Diffraction, XRD)是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向,计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息;通过调整光路系统,还可实现XRR测试,得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息,及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
Bragg-BrentanoHD入射光路模块,完全滤去Kbeta波长,有效降低白光背景,配合PIXcel 3D Medipix 1×1阵列探测器,为客户提供高强度,高质量的粉末衍射测试结果,图像可与PDF卡片库进行匹配确定物相组分,数据质量可满足Rietveld结构精修要求。
BBHD光路下某矿物样品7分钟的扫描结果(5°-60°)