产品介绍
宏策光电248nm 激光增透膜专为深紫外波段设计,采用特殊抗紫外材料,在 248nm 处实现高透射、低反射。膜层致密、耐高能辐照,具备优异的抗激光损伤能力,可有效减少光路能量损耗。适用于高功率准分子激光系统,能显著提升光学元件的透光性能与使用寿命。
应用场景
用于 248nm 准分子激光退火、光刻光源系统、深紫外激光加工及医疗设备 中的透镜、窗口等透射元件。
产品参数
| 基 板 | 石英、氟化钙CaF2等材质 | 尺 寸 | 客户定制 |
| 光 谱 |
垂直入射,T>99.6%@248nm | 阈 值 | >4J/cm2@248nm |
测试曲线