Si滤光片在12~17nm波段具有高透过率和出色的光谱选择性，可有效阻挡杂散波，提高信号纯净度。薄膜均匀、稳定性高，适合在高功率光源下长期使用。
自由电子激光（FEL）：用于选取目标波段的极紫外脉冲光，抑制非目标波长，提高实验信号清晰度。
天文观测：作为太空望远镜或地基X射线/极紫外探测器的滤光片，过滤杂散光，提高成像质量。
同步辐射设施：用于极紫外光束线的波段过滤和光学诊断。
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苏公网安备:12345号
