X射线衍射技术（X-Ray Diffraction, XRD）是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向，计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息；通过调整光路系统，还可实现XRR测试，得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息，及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
Hybrid光路模块提供高分辨率光路，可对样品进行摇摆曲线、Phi扫描、XRR及二维倒易空间图RSM（Reciprocal Space Mapping）测试。
单晶测试需提供测试面晶面信息、晶面的d值或者2Theta角度；
Phi扫描需要指明样品法向d值或者角度，法向与所测面的夹角；
RSM测试需要指明法向d值或者2theta角、测试面的d值或2theta角及测试面和法向面的夹角大小信息。
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