X射线衍射技术（X-Ray Diffraction, XRD）是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向，计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息；通过调整光路系统，还可实现XRR测试，得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息，及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
搭配聚焦光镜模块，我司可以实现样品的透射衍射测试。X光穿透样品后，探测器在另一侧采集衍射信号（区别于通常的反射衍射，入射光路和衍射光路都在样品同一侧）。透射模式下可以得到更深入的样品信息，而非反射模式下得到的制样表层信息。
某药物的透射衍射图
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