X射线衍射技术（X-Ray Diffraction, XRD）是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向，计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息；通过调整光路系统，还可实现XRR测试，得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息，及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
由于薄膜样品，膜材料和衬底材料电子密度等材料性质不同，X光可在膜界面上发生全反射现象。反射率（XRR）测试，可以得到材料的全反射干涉条纹，从而可通过拟合或傅里叶变换等计算方法，得到薄膜层厚度、粗糙度及薄膜材料密度等信息。本公司可对薄膜材料进行XRR测试，为客户提供反射率干涉条纹谱图。
单层薄膜样品的XRR测试结果
[WSi2/Si]N=5多层膜掠入射反射曲线
苏公网安备:12345号
