X射线衍射技术(X-Ray Diffraction, XRD)是一种用于表征结晶材料结构性质的无损检测技术。X射线粉末衍射图像可以提供样品晶体结构、相、择优取向,计算后可得各组分含量、平均晶粒尺寸、结晶度、应力/应变、晶体缺陷等信息;通过调整光路系统,还可实现XRR测试,得到薄膜样品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息,及在高分辨光路下得到半导体薄膜摇摆曲线及高分辨RSM倒易空间图。
小角散射是指在X光穿透样品时,低角度附近出现电子对X射线的相关散射现象,可用以表征材料的长周期、准周期结构,或表征纳米级材料平均粒径分布及介孔材料孔径尺寸等信息。我司可进行此类材料的SAXS测试,在低角度得到样品的散射图像。
某聚合物样品小角散射测试结果,显示其长周期信息